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京瓷首度参展CSEAC 2026,以光学技术筑基半导体产业

来源:
编辑:电经淘讯
时间:2026-08-24

第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)将在无锡太湖国际博览中心举行。京瓷(中国)商贸有限公司(以下简称京瓷)将以光学部品为核心展出内容,首次亮相CSEAC展会(展位号:A6-645),集中展示其在半导体设备领域的高精密深紫外物镜、精密抛光高损伤阈值的精密光学元件、光学对准用相机模组、高耐久憎水膜等全系列光学部品与解决方案。

本次展会,京瓷将重点展出覆盖多波段、多场景的高精密深紫外物镜产品矩阵,涵盖成熟量产的MI系列、ST/CA系列,以及前沿在研方案。其中,MI系列物镜有266nm和355nm波长,具备高数值孔径(NA 0.85)、宽视场(Φ0.45mm)及长工作距离(≥8mm)的特性,在保障高分辨率成像的同时预留充足操作空间。ST/CA系列覆盖266nm、355nm、405nm多波段,同样具备0.85高数值孔径与Φ0.45mm 宽视场,工作距离为1mm,其中CA系列采用无粘合剂设计,可进一步提升深紫外环境下的光学稳定性与部件耐久度。

此外,京瓷还将展示研发中的深紫外折反射物镜,支持266±15nm宽带应用,延续0.85高数值孔径与Φ0.45mm宽视场的性能标准,展现其在深紫外光学领域的持续技术储备与迭代能力。

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